New Polyimide Shape UPIMOLSA210
ユピモールSA２０１はビフェニテトラカルボン酸二無水物（BPDA)をベースにした
超高純度ポリイミド成形体です。
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特 徴 |
超耐熱性（熱変形温度４８６℃従来比＋１００℃） |
| 高真空性 |
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切削加工性良好 |
| 低不純物 |
| 用 途 | |
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半導体製造部品 |
[クランプリング・エッチャー・アッシー部品等] |
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液晶パネル製造装置部品 |
[スパッタ装置部品・ピン・ガイド板・クランプ等] |
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真空装置用部材 |
[真空ピンセット・コレット・軸受け・ベアリング等] |
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精密加工部品 |
[ボルト・ナット・ギヤ等] |
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各種機構部品 |
[耐熱・耐薬品性ガスケット・シールリング・バックアップリング等] |
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＜素材開発＞宇部興産株式会社 |
加工販売 株式会社エヌ・エム・エス
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